執行機構按照動力源不同可分為氣動執行機構、電動執行機構和液動執行機構。氣動執行機構以壓縮空氣作為動力源，是使用最為廣泛的執行機構。針對不同的應用特點，氣動執行機構發展出不同的結構形式，分為薄膜式、活塞式、箱體式、撥叉式、葉片式等。電動執行機構是以電源作為動力源，電機輸出動力通過齒輪傳動機構驅動閥門設備。液動執行機構是以液壓油為動力源，要配備液壓站和輸油管路，在此基礎上又發展出電液動執行機構是將電機、油泵、電液伺服閥集成于一體。云南昌暉儀表制造有限公司對這幾種執行機構的特點和比較如下。
氣動執行機構特點
1、動作速度：動作速度快
2、可靠性：氣動執行機構可靠性高，能夠適應頻繁啟停高頻動作，負荷變化對執行機構沒有影響
3、安全閥位無需外界動力：失去動力源或控制信號時可實現安全閥位動作，全開、全關或保持位置不變
4、調節控制：配置智能定位器，可實現智能閉環控制，控制精度高，可設置輸出特性曲線等高級診斷功能，支持數字總線通訊
5、環境適應性：以氣缸為主題，所以可以承受高溫、粉塵多、空氣污濁等惡劣環境條件。一壓縮空氣作為動力源，氣動執行機構適用于防爆的危險區域，適合應用于石化、石油、油品加工等行業。
6、初期投資：設備技術成熟，標準化，安裝施工方便，工程投資少
7、維護：氣動執行機構結構簡單，易于操作，故障率低，維護量少，使用壽命長
電動執行機構特點
1、動作速度：電動執行機構電機通過齒輪減速箱輸出力矩，動作速度相對較慢
2、可靠性：頻繁啟停，電機發熱，會導致過熱保護。負載瞬間波動增大會造成過力矩保護。過熱或過力矩保護會導致執行機構拒動。過熱或過力保護會導致電動執行機構拒動。如果選型采用小電機帶大齒輪箱，小馬拉大車，電機故障率高
3、安全閥位與外界動力：失去動力源時只能保持原位
4、調節控制：控制精度高，可設置輸出特性曲線等高級診斷功能，支持數字總線通訊
5、環境適應性：以電機為主體，含大量電子元件，使用交流電源作為動力源，高溫環境和防爆危險區域不推薦使用電動執行機構
6、初期投資：設備技術成熟，標準化，安裝施工方便，工程投資少
7、維護：電動執行機構結構復雜，故障率高，維護量大
液動執行機構特點
1、動作速度：工作壓力高，動作速度非常快
2、可靠性：可靠性高，能夠適應頻繁啟停高頻動作，負載變化對執行機構沒有影響
3、安全閥位與外界動力：液動執行機構失去動力源或控制型號時可實現安全閥位動作，全開、全關或保持位置不動
4、調節控制：控制精度非常高，動作平穩，可設置輸出特性曲線等高級診斷功能，支持數字總線通訊
5、環境適應性：一高壓液壓油作為動力源，高溫環境和防爆危險區域不推薦使用液動執行機構，液動執行機構的使用范圍最小只有大型的、特殊的工程才會專門建造并使用液動執行機構。
6、初期投資：液動執行機構要配置液壓站和輸油管道，這造成液壓執行機構相對電動執行機構和氣動執行機構來說，一次性投資更大，安裝工程量也更多
